| 主权项 |
1.一种用于积体电路厂区中整合的物料输送系统, 该物料输送系统至少包含: 以一第一高度行进之一第一物料输送次系统; 以一第二高度行进之一第二物料输送次系统;以及 至少一共用物料输送埠,用于该第一物料输送次系 统及该第二物料输送次系统,其中利用一整合轨道 次系统辅助该第一物料输送次系统及该第二物料 输送次系统,在单一天花板高度之下透过该共用物 料输送埠,以于一预定的物料储存柜中互相交换复 数个预定物料。 2.如申请专利范围第1项所述之物料输送系统,其中 该第一物料输送次系统系为隔间内物料输送次系 统,以于一生产隔间的内部进行物料运送作业,或 是在该生产隔间与该预定的物料储存柜之间进行 物料运送作业。 3.如申请专利范围第2项所述之物料输送系统,其中 该预定的物料储存柜位于该生产隔间与一主要的 狭长通道之间。 4.如申请专利范围第1项所述之物料输送系统,其中 该第二物料输送次系统系为隔间外物料输送次系 统,以于该预定的物料储存柜与至少另一物料储存 柜之间进行物料运送作业。 5.如申请专利范围第1项所述之物料输送系统,其中 该第二物料输送次系统位于一生产隔间的外部,且 位于一主要的狭长通道内。 6.如申请专利范围第1项所述之物料输送系统,其中 该共用物料输送埠设有一延长的开口,用以容纳该 第一物料输送次系统及该第二物料输送次系统。 7.如申请专利范围第1项所述之物料输送系统,其中 该共用物料输送埠设于该预定物料储存柜之一主 要的狭长通道的侧边。 8.如申请专利范围第1项所述之物料输送系统,其中 该天花板高度介于3至5公尺之间。 9.如申请专利范围第1项所述之物料输送系统,其中 该整合轨道次系统具有两种不同的高度,以同时辅 助该第一物料输送次系统及该第二物料输送次系 统。 10.一种用于积体电路厂区中整合的物料输送系统, 该物料输送系统至少包含: 一第一物料输送次系统,设有至少以第一高度行进 之一悬梁式输送模组,且该第一物料输送次系统于 一生产隔间内部进行物料运送作业,或是在该生产 隔间与该预定的物料储存柜之间进行物料运送作 业; 一第二物料输送次系统,设有至少以第二高度行进 之一悬梁式运送模组,且该第二物料输送次系统于 该预定物料储存柜与至少另一物料储存柜之间进 行物料运送作业; 至少一共用物料输送埠,用于该第一物料输送次系 统及该第二物料输送次系统;以及 一整合轨道次系统,用以辅助位于该第一高度行进 之该第一物料输送次系统以及位于该第二高度行 进之该第二物料输送次系统,透过该共用物料输送 埠,以于一预定的物料储存柜中互相交换复数个预 定物料,以使该积体电路厂区具有均等的天花板高 度,以容纳该第一物料输送次系统及该第二物料输 送次系统。 11.如申请专利范围第10项所述之物料输送系统,其 中该共用物料输送埠设有一延长的开口,用以容纳 该悬梁式输送模组及该悬梁式运送模组。 12.如申请专利范围第10项所述之物料输送系统,其 中该共用物料输送埠设于该预定物料储存柜之一 主要的狭长通道的侧边。 13.如申请专利范围第10项所述之物料输送系统,其 中该天花板高度介于3至5公尺之间。 14.如申请专利范围第10项所述之物料输送系统,其 中该整合轨道次系统具有两种不同的高度,以同时 辅助该第一物料输送次系统及该第二物料输送次 系统。 15.一种用于积体电路厂区中整合的物料输送方法, 该物料输送方法至少包含: 提供一第一物料输送次系统; 提供一第二物料输送次系统;以及 提供至少一共用物料输送埠,用于该第一物料输送 次系统及该第二物料输送次系统,其中利用一整合 轨道次系统辅助该第一物料输送次系统及该第二 物料输送次系统,在单一天花板高度之下透过该共 用物料输送埠,以于一预定的物料储存柜中互相交 换复数个预定物料。 16.如申请专利范围第15项所述之物料输送方法,其 中该第一物料输送次系统系为隔间内物料输送次 系统,以于一生产隔间内部进行物料运送作业,或 是在该生产隔间与该预定的物料储存柜之间进行 物料运送作业。 17.如申请专利范围第16项所述之物料输送方法,其 中该预定的物料储存柜位于该生产隔间与一主要 的狭长通道之间。 18.如申请专利范围第15项所述之物料输送方法,其 中该第二物料输送次系统系为隔间外物料输送次 系统,以于该预定的物料储存柜与至少另一物料储 存柜之间进行物料运送作业。 19.如申请专利范围第15项所述之物料输送方法,其 中该第二物料输送次系统位于一生产隔间的外部, 且位于一主要的狭长通道内。 20.如申请专利范围第15项所述之物料输送方法,其 中该共用物料输送埠的尺寸大小用于容纳该第一 物料输送次系统及该第二物料输送次系统。 21.如申请专利范围第15项所述之物料输送方法,其 中该共用物料输送埠设于该预定物料储存柜之一 主要的狭长通道的侧边。 22.如申请专利范围第15项所述之物料输送方法,其 中该天花板高度介于3至5公尺之间。 23.如申请专利范围第15项所述之物料输送方法,其 中该整合轨道次系统具有两种不同的高度,以同时 辅助该第一物料输送次系统及该第二物料输送次 系统。 图式简单说明: 第1图系绘示习知的积体电路制造设备中物料输送 整合系统之方块图。 第2图系绘示习知积体电路制造设备的平面视图, 包括物料输送系统、轨道、生产隔间、物料储存 柜以及生产工具。 第3图系绘示依据本发明积体电路制造设备的剖视 图,包括物料输送系统、轨道、生产隔间以及物料 储存柜。 第4图系绘示依据本发明积体电路制造设备的平面 视图,包括物料输送系统、轨道、生产隔间以及物 料储存柜。 |
