半导体元件、具有辅助图案之半导体元件及具有改善微负载效应之辅助图案之半导体元件的结构

摘要

一种半导体元件的结构，包括：一基底；一隔离区，形成于基底；一主动区，形成于基底且邻近隔离区，主动区具有一纵长；以及一辅助图案，形成于隔离区上，辅助图案具有一纵长，其中辅助区之纵长大于主动区之纵长，主动区是具有一对长边及短边之一矩形，矩形之长边与主动区之间隔距离约小于1500nm，且与主动区之纵长大致平行。