压电式喷墨头及其制造方法

摘要

一种压电式喷墨头及其制造方法，系于具有凹槽的基板上，形成压电致动结构，先于基板之凹槽底部形成下电极层，再于下电极层表面形成压电层，压电层容置于凹槽内，最后在压电层表面制作上电极层，藉由基板的凹槽结构设计来控制网印之后的压电层图案形状，并且可以利用凹槽结构来减少压电致动区域的振动板厚度，以增加压电致动量。