半导体制造系统以及用于配送半导体制造系统中在制品的配送系统与方法

摘要

一种用于配送半导体制造系统中在制品的配送系统，其包括复数机台群组区块、一派工模拟系统、一资料库以及一主控制器。每一机台群组区块设置有一区块控制器与复数载具。派工模拟系统用以取得对应该些机台群组区块之复数派工参数，并且将参数储存于该资料库。主控制器自该资料库取得该些派工参数，并据以计算出每一该机台群组区块之目前载具配置数与载具派工数，根据该载具派工数决定出至少一目的机台群组区块与至少一来源机台群组区块，对该目的与来源机台群组区块的载具派工数执行一数学运算，并且根据运算结果令每一该区块控制器执行相对应的载具派工操作。