| 发明名称 |
MERKMALEN ZUR ERHÖHUNG DER WÄRMEÜBERTRAGUNG FÜR HALBLEITERTRÄGER UND HALBLEITERANORDNUNGEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69828879(T8) |
申请公布日期 |
2006.06.08 |
| 申请号 |
DE1998628879T |
申请日期 |
1998.06.01 |
| 申请人 |
TERADYNE INC., BOSTON |
发明人 |
PFAHNL, C.;SLOCUM, H.;LIENHARD, H. |
| 分类号 |
G01R31/26;H01L21/00;G01R31/28;G01R31/316;H01L21/673;H01L21/68;H01L23/36 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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