发明名称 A PLASMA GENERATING APPARATUS HAVING AN ELECTROSTATIC SHIELD
摘要
申请公布号 KR100576051(B1) 申请公布日期 2006.05.09
申请号 KR20007005390 申请日期 2000.05.17
申请人 发明人
分类号 H01J7/24 主分类号 H01J7/24
代理机构 代理人
主权项
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