Mikromechanisches Bauteil und Verfahren zur Herstellung eines solchen Bauteils

摘要

Es werden Maßnahmen vorgeschlagen, die prozessbedingten eingefrorenen mechanischen Spannungen in der Membran eines mikromechanischen Bauteils entgegenwirken. Die Membran (1) ist in einem Schichtsystem auf einem Substrat (3) ausgebildet und überspannt eine Kaverne (2) im Substrat (3). Das Schichtsystem umfasst mindestens eine auf dem Substrat (3) ausgebildete Trägerschicht (4) für Schaltungselemente (5). Außerdem ist auf der Trägerschicht (4) mindestens eine strukturierte Maskierschicht (6) zur Definition der Schaltungselemente (5) ausgebildet. DOLLAR A Erfindungsgemäß wird die Maskierschicht (6) im Bereich der Membran (1) so strukturiert, dass mechanische Spannungen, die bei Vakuum (p = 0 bar) im Bereich der Membran (1) wirksam sind, zumindest teilweise kompensiert werden, wobei der intrinsische Stress der Maskierschicht beim Layout der Strukturierung berücksichtigt wird.