| 发明名称 |
COPPER CHEMICAL MECHANICAL POLISHING SOLUTIONS USING SULFONATED AMPHIPROTIC AGENTS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP1590421(A4) |
申请公布日期 |
2006.01.04 |
| 申请号 |
EP20030781425 |
申请日期 |
2003.10.29 |
| 申请人 |
ARKEMA INC. |
发明人 |
MARTYAK, NICHOLAS, M.;CARROLL, GLENN |
| 分类号 |
C09G1/04;C09K3/14;H01L21/321;(IPC1-7):C09K3/00;C09G1/02 |
主分类号 |
C09G1/04 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
