发明名称 A METHOD FOR MEASURING THE CONCENTRATION OF IMPURITIES IN HELIUM BY ION MOBILITY SPECTROMETRY
摘要
申请公布号 EP1350093(B1) 申请公布日期 2005.11.16
申请号 EP20020711200 申请日期 2002.01.08
申请人 SAES GETTERS S.P.A. 发明人 PUSTERLA, LUCA;SUCCI, MARCO;BONUCCI, ANTONIO;STIMAC, ROBERT
分类号 G01N27/64;(IPC1-7):G01N27/64 主分类号 G01N27/64
代理机构 代理人
主权项
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