| 发明名称 |
METHOD FOR FABRICATING TUNGSTEN LAYER WITH PROTECTING FROM FLORIN AFFECTION ON BARRIER METAL LAYER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20050071076(A) |
申请公布日期 |
2005.07.07 |
| 申请号 |
KR20030101904 |
申请日期 |
2003.12.31 |
| 申请人 |
DONGBUANAM SEMICONDUCTOR INC. |
发明人 |
SEOK, KA MOON |
| 分类号 |
C23C14/02;(IPC1-7):C23C14/02 |
主分类号 |
C23C14/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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