| 摘要 |
本发明系提供对于蓝紫色范围之雷射光为高感度，且黄色灯下之安全灯特性优异，同时所得之图像之解像性及矩形性优异，特别是极适合作为乾式薄膜光阻及以蓝紫色雷射光之直接描绘的负型蓝紫色雷射感光性组成物及使用该组成物之图像形成材料、图像形成材及图像形成方法。藉由蓝紫色雷射光曝光，使残膜率成为90％以上之最小曝光量为40mJ／cm^2以下，曝光部之残膜率〔t(％)〕对蓝紫色雷射光之曝光量之对数〔logE(mJ／cm^2)〕所描绘之残膜率-曝光量曲线之残膜率之15％的点与80％的点所连结之直线t＝γlogE＋δ之γ值为4.0×10^2以上，或由曝光部之残膜率〔t(％)〕所算出之溶解膜率〔100–t(％)〕被显像时间〔T(sec)〕除之显像速度〔s＝｛100-t｝／T(％／scs)〕对蓝紫色雷射光之曝光量之对数〔logE(mJ／cm^2))所描绘之显像速度–曝光量曲线之最大显像速度之80％的点与20％的点所连结之直线s＝αlogE＋β的α值为12以上的负型蓝紫色雷射感光性组成物及使用该组成物之图像形成材料、图像形成材及图像形成方法。 |
