发明名称 SLURRY FOR TUNGSTEN-CHEMICAL MECHANICAL POLISHING AND METHOD FOR MANUFACTURING OF THE SAME
摘要
申请公布号 KR100497413(B1) 申请公布日期 2005.06.16
申请号 KR20040098016 申请日期 2004.11.26
申请人 ACE HIGHTECH CO., LTD. 发明人 JUNG, SUK JO;BYEON, JUNG HWAN;PARK, CHEOL JIN;BAE, SEON YUN;KIM, MOON SUNG;PARK, JIN GOO;KANG, YOUNG JAE;SONG, JAE HOON
分类号 C09G1/02;C09K3/14;(IPC1-7):C09K3/14 主分类号 C09G1/02
代理机构 代理人
主权项
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