| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR NON-CONTACT MEASUREMENT OF TOPOLOGY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20050044165(A) |
申请公布日期 |
2005.05.12 |
| 申请号 |
KR20030078752 |
申请日期 |
2003.11.07 |
| 申请人 |
DONGBUANAM SEMICONDUCTOR INC. |
发明人 |
JUNG, JIN HYO |
| 分类号 |
G01B11/30;(IPC1-7):G01B11/30 |
主分类号 |
G01B11/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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