发明名称 Semiconductor device and method of forming the same
摘要
申请公布号 KR100487563(B1) 申请公布日期 2005.05.03
申请号 KR20030027556 申请日期 2003.04.30
申请人 发明人
分类号 F23H11/12;H01L27/10;H01L21/768;H01L21/8234;H01L21/8242;H01L21/8244;H01L27/108;(IPC1-7):F23H11/12 主分类号 F23H11/12
代理机构 代理人
主权项
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