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发明名称 ION SOURCE PORTION OF ION IMPLANTATION APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20050038759(A) 申请公布日期 2005.04.29
申请号 KR20030073994 申请日期 2003.10.22
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 DO, HAK YOUNG;KIM, HYUN MOOK
分类号 H01J37/08;(IPC1-7):H01J37/08 主分类号 H01J37/08
代理机构 代理人
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