控制装置、应用该控制装置的系统及控制方法

摘要

本发明针对应用控制规则的控制，因采用预定的控制规则，故难以修正控制规则这一课题和在采用实际的工艺控制结果变更控制规则的情况下产品精度恶化的课题，在应用控制规则进行控制的控制装置中，具有：评价根据控制规则进行控制的控制结果的评价机构；在变更控制规则的同时实施控制，根据评价机构的评价结果调整上述控制规则的控制规则自动调整机构；和在上述控制结果比预定的值恶化时，使控制规则自动调整机构的控制规则的变更停止的自动调整可否判定机构。根据这种构成，在控制实际工艺的同时变更控制规则的情况下，可以使产品精度不恶化到界限值以上，因此，能够在控制中自动修正控制规则，以达到最佳效果。

主权项

1、一种控制装置，其中应用控制规则进行控制，其特征在于，具有：用上述控制规则实施控制的控制机构；评价根据上述控制规则进行控制的控制结果的评价机构；根据上述评价机构的评价结果，调整上述控制规则的控制规则自动调整机构；和在上述控制结果比预定的值恶化时，使上述控制规则自动调整机构的控制规则的调整停止的自动调整可否判定机构。