发明名称 METHOD FOR FORMING SILICON OXIDE LAYER IN SEMICONDUCTOR DEVICE TO PREVENT THRESHOLD VOLTAGE OF MOS TRANSISTOR FROM VARYING
摘要
申请公布号 KR100476396(B1) 申请公布日期 2005.03.03
申请号 KR19970075118 申请日期 1997.12.27
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 KO, SEOK YUN
分类号 H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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