发明名称 THIN-FILM SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06342910(A) 申请公布日期 1994.12.13
申请号 JP19930346877 申请日期 1993.12.27
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD 发明人 YAMAZAKI SHUNPEI
分类号 H01L29/78;H01L21/324;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/784 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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