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发明名称 Cleaning solution for electronic materials and method for using the same
摘要
申请公布号 EP0924970(A3) 申请公布日期 2000.03.08
申请号 EP19980124184 申请日期 1998.12.21
申请人 KURITA WATER INDUSTRIES LTD. 发明人 MORITA, HIROSHI;IDA, JUNICHI;MIZUNIWA, TETSUO
分类号 C11D3/00;C11D3/39;C11D7/06;C11D11/00;H01L21/306;H05K3/26;(IPC1-7):H05K3/26;C11D7/18;C11D7/54;C11D7/04 主分类号 C11D3/00
代理机构 代理人
主权项
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