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发明名称 VORRICHTUNG ZUR BEHANDLUNG VON HALBLEITERSCHEIBEN
摘要
申请公布号 DE69916035(T2) 申请公布日期 2004.08.26
申请号 DE1999616035T 申请日期 1999.01.27
申请人 ASM INTERNATIONAL N.V., BILTHOVEN 发明人 SLUIJK, GIJSBERT;DE RIDDER, GERARDUS
分类号 B65G49/07;H01L21/22;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
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