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发明名称 OPTICAL ELEMENT WITH AN OPTICAL AXIS
摘要
申请公布号 EP1442329(A2) 申请公布日期 2004.08.04
申请号 EP20020782948 申请日期 2002.10.18
申请人 CARL ZEISS SMT AG 发明人 PETASCH, THOMAS;MUENKER, HARTMUT;GELLRICH, BERNHARD
分类号 G02B5/10;G02B7/00;G02B7/198;G03F7/20;(IPC1-7):G02B7/00 主分类号 G02B5/10
代理机构 代理人
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