| 发明名称 |
SELF-SIPHONING CMP TOOL DESIGN FOR APPLICATION SUCH AS COPPER CMP AND LOW-K DIELECTRIC CMP |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG104983(A1) |
申请公布日期 |
2004.07.30 |
| 申请号 |
SG20020006097 |
申请日期 |
2002.10.08 |
| 申请人 |
CHARTERED SEMICONDUCTOR MANUFACTURING LTD. |
发明人 |
SUDIPTO ROY |
| 分类号 |
B24B37/04;B24B57/04;H01L21/3105;H01L21/321;(IPC1-7):C23F1/00 |
主分类号 |
B24B37/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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