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发明名称 PLASMA TORCH
摘要
申请公布号 EP1402762(A1) 申请公布日期 2004.03.31
申请号 EP20020712622 申请日期 2002.03.28
申请人 VARIAN AUSTRALIA PTY. LTD. 发明人 WISEMAN, ALAN, GEOFFREY
分类号 G01N21/71;G01N27/62;G01N21/68;G01N21/73;H01J49/04;H01J49/10;H05H1/30;H05H1/42;(IPC1-7):H05H1/42 主分类号 G01N21/71
代理机构 代理人
主权项
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