首页 产品 黄页 商标 征信
会员服务 注册 登录 
全部
 |
企业名
 |
法人/股东/高管
 |
品牌/产品
 |
地址
 |
经营范围
发明名称 Magnetron plasma-use magnetic field generation device
摘要
申请公布号 AU2003257652(A8) 申请公布日期 2004.03.11
申请号 AU20030257652 申请日期 2003.08.21
申请人 SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.;TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 KOJI MIYATA;KAZUYUKI TEZUKA;KOICHI TATESHITA;HIROO ONO;KAZUYA NAGASEKI;SHINJI HIMORI
分类号 C23F1/00;H01J37/32;H01L21/00;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
©  2024 传众  czvv.com