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发明名称 Method for forming film
摘要
申请公布号 GB0401955(D0) 申请公布日期 2004.03.03
申请号 GB20040001955 申请日期 2004.01.29
申请人 NATIONAL INSTITUTE OF ADVANCED INDUSTRIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY 发明人
分类号 C23C4/02;C23C8/80;C23C28/00 主分类号 C23C4/02
代理机构 代理人
主权项
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