| 摘要 |
一种用以移除钽障蔽物之化学机械平坦化溶液，该溶液含有0至25个重量百分比之氧化剂；0至15个重量百分比，用于非铁金属之抑制剂；0至20个重量百分比，用于非铁金属之复合剂；0．01至12个重量百分比之钽移除剂，该移除剂系选自由单甲（formamidine）、单甲盐、单甲衍生物、胍（guanidine）衍生物、胍盐及其混合物组成之群组中；0至5个重量百分比之研磨料；0至15个重量百分比之总颗粒，其系选自由聚合物颗粒（polymericparticle）与聚合物涂布颗粒（polymer-coatedparticle）组成之群组中以及平衡水（balancewater）。该溶液具有至少3比1之氮化钽（tantalumnitride）TEOS选择度，该数值系由微孔性（microporous）之聚胺基甲酸乙酯（polyurethane）抛光垫，以小于20．7kPa且正向于晶圆之压力测得。 |
