Waferebenengehäuse mit Siliziumdichtung

摘要

Eine Dichtung umfaßt eine hermetisch abgedichtete Umgebung zwischen einem Abdeckungswafer und einem Basiswafer. Die Dichtung ist unter Verwendung von Verbindungsmaterial mit dem Basiswafer verbunden. Das Verbindungsmaterial kann eine oder mehrere von vielen Substanzen sein, die annehmbare Haftung, Abdichtung und andere Eigenschaften zeigen, die eine hermetisch abgedichtete Umgebung sicherstellen. Die Dichtung wird von dem Abdeckungswafermaterial selbst gebildet. Der Abdeckungswafer ist typischerweise aus äußerst starkem und starrem Material, wie z. B. Silizium, hergestellt. Da die Dichtung von dem Abdeckungswafer hergestellt wird, ist die Dichtung selbst ebenfalls äußerst stark und starr.