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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR NANO-SENSING
摘要
申请公布号 AU2002360593(A1) 申请公布日期 2003.07.09
申请号 AU20020360593 申请日期 2002.12.12
申请人 VIRTANEN, JUKKA;VIRTANEN, JORMA 发明人 JUKKA VIRTANEN;JORMA VIRTANEN
分类号 G01N27/22;G01N33/543;(IPC1-7):H01L21/00;C12M1/34;C12M3/00 主分类号 G01N27/22
代理机构 代理人
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