申请人 |
GFE GESELLSCHAFT FUR ELEKTROMETALLURGIE MBH;ALD VACUUM TECHNOLOGIES AG;GFE METALLE UND MATERIALIEN GMBH |
发明人 |
FRANK-PETER SCHIMANSKY;HELMUT CLEMENS;GEORG JARCZYK;VOLKER GUTHER;MATTHIAS BLUM;WILLY FURWITT;FRIEDHELM SASSE;HEINZ DANKER;RAINER GERLING;ANITA CHATTERJEE |