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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR TESTING SIGNAL PATHS BETWEEN AN INTEGRATED CIRCUIT WAFER AND A WAFER TESTER
摘要
申请公布号 EP1275010(A2) 申请公布日期 2003.01.15
申请号 EP20010922817 申请日期 2001.03.27
申请人 FORMFACTOR, INC. 发明人 WHITTEN, RALPH, G.;ELDRIDGE, BENJAMIN, N.
分类号 G01R27/02;G01R31/28;G01R31/3167;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/316;G01R35/00 主分类号 G01R27/02
代理机构 代理人
主权项
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