发明名称 Improvements in or relating to methods of manufacturing semiconductor devices
摘要
申请公布号 GB1044041(A) 申请公布日期 1966.09.28
申请号 GB19630021924 申请日期 1963.05.31
申请人 PHILIPS ELECTRONIC AND ASSOCIATED INDUSTRIES LIMITED 发明人
分类号 C23C8/00;C23C16/40;C30B25/02;H01L21/00;H01L29/00 主分类号 C23C8/00
代理机构 代理人
主权项
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