| 发明名称 |
METHOD FOR PRODUCING DEFINED POLYCRYSTALLINE SILICON AREAS IN AN AMORPHOUS SILICON LAYER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1258032(A1) |
申请公布日期 |
2002.11.20 |
| 申请号 |
EP20010916884 |
申请日期 |
2001.01.26 |
| 申请人 |
ROBERT BOSCH GMBH |
发明人 |
EMILI, WALTER;GOEBEL, HERBERT;WANKA, HARALD |
| 分类号 |
G01L9/00;H01L21/20;H01L29/84;(IPC1-7):H01L21/20;H01L21/02 |
主分类号 |
G01L9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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