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发明名称 ELECTRIC SUPPLY UNIT AND A METHOD FOR REDUCING SPARKING DURING SPUTTERING
摘要
申请公布号 EP1221175(A1) 申请公布日期 2002.07.10
申请号 EP20000953372 申请日期 2000.08.29
申请人 UNAXIS DEUTSCHLAND GMBH 发明人 KLOEPPEL, ANDREAS;DAUBE, CHRISTOPH;STOLLENWERK, JOHANNES;LINZ, THOMAS
分类号 H05H1/46;C23C14/34;H01J37/34;H01L21/3065;H05H1/00;(IPC1-7):H01J37/34 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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