| 发明名称 |
Resist stripper composition |
| 摘要 |
<p>A resist stripper which comprises a peroxide and a quaternary ammonium salt.</p> |
| 申请公布号 |
EP1211563(A1) |
申请公布日期 |
2002.06.05 |
| 申请号 |
EP20010128335 |
申请日期 |
2001.11.29 |
| 申请人 |
TOSOH CORPORATION |
发明人 |
HARA, YASUSHI;AOKI, MASAHIRO;HAYASHI, HIROAKI |
| 分类号 |
C11D7/26;C11D1/62;C11D3/39;C11D7/02;C11D7/32;C11D11/00;G03F7/42;H01L21/306;H01L21/3213;(IPC1-7):G03F7/42;C11D7/50;H01L21/321 |
主分类号 |
C11D7/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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