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发明名称 Komponenten peripher zum Sockel im Wege des Gasflusses innerhalb einer Kammer zur chemischen Gasphasenabscheidung
摘要
申请公布号 DE69710961(D1) 申请公布日期 2002.04.18
申请号 DE19976010961 申请日期 1997.07.11
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 ZHAO, JUN;SINHA, ASHOK;TEPMAN, AVI;CHANG, MEI;LUO, LEE;SCHRIEBER, ALEX;SAJOTO, TALEX;WOLFF, STEFAN;DORNFEST, CHARLES;DANEK, MICHAEL
分类号 C23C16/44;C23C16/448;C23C16/455;C23C16/458;C23C16/46;C23C16/509;C23C16/54;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/285;(IPC1-7):C23C16/00 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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