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经营范围
发明名称
MICROMECHANICAL PRESSURE AND FORCE SENSOR
摘要
申请公布号
EP0896658(B1)
申请公布日期
2002.03.06
申请号
EP19970920600
申请日期
1997.04.14
申请人
BILGER, THOMAS
发明人
BILGER, THOMAS
分类号
G01L1/14;G01L9/00;(IPC1-7):G01L9/00;G01L7/08;G01L13/02
主分类号
G01L1/14
代理机构
代理人
主权项
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