| 摘要 |
<p>P°i zp sobu v²roby boridov²ch vrstev se jako nosi boru sm s plynn² fluorid borit² s plynn²m vod kem a pop° pad argonem a/nebo dus kem pro p° pravu reak n ho plynu, kter² obsahuje 1 a 35 % objemov²ch fluoridu borit ho, 20 a 90 % objemov²ch vod ku a jako dopln k do 100 % argon a/nebo dus k a v takto z skan m reak n m plynu se za tlaku v rozmez 0,1 a 1,0 kPa pomoc pulzn ho plazmov ho v²boje p°i teplot v rozmez 700 .degree.C a 950 .degree.C p°evede molekul rn vod k na atom rn vod k a tento redukuje fluorid borit² a t m se umo n p°echod boru z plazmy na povrh kovu, do kter ho bor difunduje a vytv ° vrstvu ot ruvzdorn ho boridu kovu./</p> |
