| 摘要 |
<p>L'invention concerne un procédé et un dispositif de traitement de PFC, dans lesquels une pompe à vide n'est pas soumise à détérioration, l'entretien et l'inspection sont faciles et le traitement de brûlage n'est pas nécessaire. Sont agencées de manière continue, après une chambre à vide (12) par l'intermédiaire de conduits (14), une pompe à vide (16), une partie (17) d'introduction de gaz de réaction, une partie (18) de traitement au plasma, ainsi qu'une partie (20) de récupération de polymère, constituant ainsi un dispositif de traitement (10).</p> |
