| 主权项 |
1.一种校正非旋转对称影像误差之方法,其用于一 设有光学元件,尤其是透镜,之组件,其特征在于:在 至少一光学元件(1)之圆周上分散设置多个帕耳帖 元件(6),其中利用不同的电控制而影响光学元件中 的温度分布且在帕耳帖元件(6)与光学元件(1)间制 造导热连接。2.根据申请专利范围第1项所述校正 非旋转对称影像误差之方法其中帕耳帖元件(6)可 冷却或加热一光学元件(1)。3.一种组件,设有光学 元件,尤其是透镜,与一调温装置,其特征在于,在至 少一光学元件(1)之圆周上分散设置多个帕耳帖元 件(6),其可不同控制,且在帕耳帖元件(6)与光学元 件(1)间设置导热连接件(4,10)。4.根据申请专利范 围第3项所述之组件,其中帕耳帖元件(6)设有朝向 外之热耦合件(9)。5.根据申请专利范围第3或4项所 述之组件,其中帕耳帖元件(6)设在光学元件(1)的镜 框或镜架(2)上。6.根据申请专利范围第5项所述之 组件,其中镜框或镜架(2)设作导热连接件。7.根据 申请专利范围第6项所述之组件,其中镜框或镜架(2 )在帕耳帖元件(6)处各设有一透镜垫(4),其构成导 热连接件。8.根据申请专利范围第3或4项所述之组 件,其中帕耳帖元件(6)经设在帕耳帖元件(6)与光学 元件(1)之间的导热连接件(10)而直接与光学元件(1) 联结。9.根据申请专利范围第7项所述之组件,其中 帕耳帖元件(6)在不朝向光学元件(1)的一侧设有一 朝向外的热耦合件(9)。10.根据申请专利范围第7项 所述之组件,其中导热连接件(10)设有朝向光学元 件(1)的凸起(11)。11.根据申请专利范围第3或4项所 述之组件,其中该组件是一物镜,尤其是微石版印 刷投影物镜。12.一种微石版印刷投影曝光设备,设 有根据申请专利范围第3或4项所述之组件,甚至少 具一设有帕耳帖元件(6)之光学元件(1)。图式简单 说明: 第一图系一物镜之透镜,其帕耳帖元件设在透镜镜 框上(无导热连接件)。 第二图系第一图线II-II之截面图。 第三图系一物镜之透镜,其帕耳帖元件直接与透镜 联结。 第四图系第三图线IV-IV之截面图。 |
