MEASURING DEVICE

摘要

Die Erfindung bezieht sich auf eine Messvorrichtung (1) zur Ermittlung der Dicke einer Schicht (20), welche auf ein Bauelement (100) aufgetragen ist. Die Bestimmung der Dicke erfolgt berührungs- und zerstörungsfrei unabhängig davon, aus welchem Material die Schicht (20) gefertigt ist. Hierfür ist eine elektromagnetische Strahlungsquelle (2) vorgesehen, die Strahlung im infraroten Bereich emittiert. Die Strahlungsquelle (2), die als Festkörperlaser ausgebildet ist, steht über wenigstens einen Lichtwellenleiter (4) mit einer Sensoreinheit (8) in Verbindung. Mittels derer kann die Schicht (20) mit der infraroten Strahlung abgetastet werden. Mit einem Detektor (5), der in die Sensoreinheit (8) integriert sein kann, wird die Wärmestrahlung erfasst, welche von der Schicht (20) emittiert wird. Aus den Messsignalen wird in einer Auswerteeinheit (11), in der Vergleichswerte gespeichert sind, die Dicke der Schicht (20) ermittelt.