| 发明名称 |
PROCESS OF SUPPLYING MOISTURE AT SMALL FLOW RATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IL127395(A) |
申请公布日期 |
2001.06.14 |
| 申请号 |
IL19980127395 |
申请日期 |
1998.12.03 |
| 申请人 |
FUJIKIN INCORPORATED, OSAKA AND HITACHI, LTD. |
发明人 |
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| 分类号 |
C01B5/00;F22B1/00;H01L21/316;(IPC1-7):C01B5/00 |
主分类号 |
C01B5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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