| 摘要 |
본 발명은 하전입자빔 장치의 개량에 관한 것으로, 특히 초고진공 배기 시스템(100)을 내장한 소형, 경량이고 또한 고성능을 가지는 경통부 구조를 제공하는 것을 목적으로 한다. 하전입자빔원(1)의 주위공간을 초고진공 배기하기 위하여 이온 펌프가 경통부 진공용기내에 내장되어 있다. 이 이온 펌프는 자석 유닛(15), 요크(14), 전극(16)등으로 구성되어 있고, 상기 자석 유닛(15) 자체가 상기 진공용기내에 내장되어 있고, 또, 상기 요크(14)의 내측공간내에 상기 하전 입자원(1)으로 부터의 하전입자빔을 접속, 편향시키기 위한 하전입자빔 집속 광학계가 배치되어 있다. 경통부 구조를 소형, 경량화 할 수가 있고, 또 고성능의 하전입자빔 장치를 얻을 수가 있다. |
