| 发明名称 |
Verfahren zur Kontrolle der Ätzkontur einer Schicht einer integrierten Schaltung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69231021(T2) |
申请公布日期 |
2000.12.21 |
| 申请号 |
DE19926031021T |
申请日期 |
1992.07.31 |
| 申请人 |
MHS, NANTES CEDEX |
发明人 |
RABINZOHN, PATRICK DANIEL |
| 分类号 |
H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/321;H01L21/033 |
主分类号 |
H01L21/3213 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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