发明名称 |
PM-Übergang mit hoher Durchbruchsspannung und Verfahren zur Herstellung |
摘要 |
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申请公布号 |
DE59606123(D1) |
申请公布日期 |
2000.12.14 |
申请号 |
DE19965006123 |
申请日期 |
1996.08.27 |
申请人 |
ROBERT BOSCH GMBH |
发明人 |
GOEBEL, DR.RER.NAT.;GOEBEL, VESNA |
分类号 |
H01L21/225;H01L21/329;H01L29/06;H01L29/861;(IPC1-7):H01L29/861 |
主分类号 |
H01L21/225 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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