发明名称 Tilt-and-Go-Losträgerinterfacejustiersystem
摘要
申请公布号 DE19882665(T1) 申请公布日期 2000.11.16
申请号 DE1998182665T 申请日期 1998.09.03
申请人 ASYST TECHNOLOGIES, INC. 发明人 BONORA, ANTHONY;CORTEZ, EDWARD J.;KYFFIN, JOHN D.;NG, MICHAEL
分类号 H01L21/677;(IPC1-7):B65G49/05;H01L21/68;F24F7/00;B65B1/04 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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