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发明名称
摘要
申请公布号	JP3106585(B2)	申请公布日期	2000.11.06
申请号	JP19910236963	申请日期	1991.08.23
申请人		发明人
分类号	H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/320	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
主权项
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