VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR BESTIMMUNG DER SCHICHTDICKE, DER LEITFÄHIGKEIT UND/ODER DER SCHICHTKONTAKTGÜTE VON AUF SUBSTRATEN AUFGETRAGENEN SCHICHTEN
摘要
申请公布号
DE59604959(D1)
申请公布日期
2000.05.18
申请号
DE19965004959
申请日期
1996.01.11
申请人
OPTISENSE GESELLSCHAFT FUER OPTISCHE PROZESSMESSTECHNIK MBH & CO. KG