发明名称 扩展式鉴相型容栅传感器
摘要 一种扩展式鉴相型容栅传感器,特别是直线运动型式的传感器,其副栅(5)上的发射极板(3)由传统的连续排列扩展为按组分列,组间间距等于主栅的一个节距或是节距的整数倍,各发射极板(3)在偶合区域外按一定规律扩散并与相应的导电孔相连。各组发射极板(3)之间采取屏蔽措施,屏蔽极板(4)与发射极板(3)之间的间距a等于相邻发射极板(3)之间的间距b。本实用新型可以在小节距的传感器上采用金属化孔的方式导电,它特别适用于直线运动方式,也适用于回转运动方式。
申请公布号 CN2378714Y 申请公布日期 2000.05.17
申请号 CN98245136.9 申请日期 1998.10.13
申请人 桂林市精达数字产品有限责任公司 发明人 周铁
分类号 G01B7/02;G01R27/26;G01D5/241 主分类号 G01B7/02
代理机构 代理人
主权项 1、扩展式容栅传感器(以下简称传感器),特别是直线运动型式的传感器,其副栅(5)上的发射极板(3)按组分列,组间间距等于主栅的一个节距或是主栅节距的整数倍。
地址 541004广西壮族自治区桂林市会仙路6号黄彩萍转
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