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发明名称 CHEMICALLY AMPLIFIED POSITIVE RESIST MATERIAL
摘要
申请公布号 KR100228466(B1) 申请公布日期 1999.11.01
申请号 KR19970012010 申请日期 1997.04.01
申请人 SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 发明人 TSUCHIYA, JUNJI;ISHIHARA, TOSHINOBU;NAGURA, SHIGEHIRO;TAKEMURA, KATSUYA;YAMAOKA, TSUGIO
分类号 G03F7/004;G03F7/039;G03F7/075;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/004 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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