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Bei einem Halbleitergassensor mit einem Trägersubstrat (56) sind auf derselben Seite des Trägersubstrats platzsparend zwei als Leiterbahnbereiche ausgebildete Interdigitalelektrodenbereiche (ID1, ID2) mit jeweils zwei Interdigitalelektroden (4, 7; 5, 9) vorgesehen. Weiterhin sind als Teil eines auf derselben Seite des Trägersubstrats (56) zwei Meßwiderstandsbereiche (57, 58) vorgesehen, wobei die Meßwiderstandsbereiche (57, 58) und die Interdigitalelektrodenbereiche (ID1, ID2) zu einer auf dem Trägersubstrat gebildeten Wheatstone-Brückenmeßschaltung verbunden sind. <IMAGE>
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